晶圓精密量測儀-奈米級氣體過濾膜
2020.07.30

雖然空壓機後有裝乾燥機去除水分，但管線到設備的距離如果很長，在末端又容易產生凝結水。

原本系統 : 空壓機 - 乾燥機 - 調壓器 - 晶圓量測儀 (儀器上面含有油、及水分)，造成晶圓精密度不足。

現有系統 : 空壓機 - 乾燥機 - 菁泉UF空氣過濾膜 - 調壓器 - 晶圓量測儀 (無油水、無壓降) ，晶圓品質穩定。

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